Varillas finas de tungsteno en micro-nanoprocesamiento y sus procesos y equipos de producción
I. Aplicación de varillas finas de tungsteno en micro-nanoprocesamiento
Las varillas finas de tungsteno tienen aplicaciones importantes en el campo del micro{0}}nanoprocesamiento, que se manifiestan principalmente en los siguientes aspectos:
Tecnología de micro{0}}nanoprocesamiento láser: las finas varillas de tungsteno se utilizan como materiales de electrodos en la tecnología de micro-nanoprocesamiento láser, incluida la fabricación de circuitos integrados, reparación de chips y corte de obleas, etc. La tecnología de micro{3}}nanoprocesamiento láser utiliza rayos láser de alta-energía-para procesar materiales con precisión a escala micrométrica e incluso nanométrica. El alto punto de fusión y la estabilidad de las finas varillas de tungsteno las convierten en materiales ideales para electrodos.
Fabricación y reparación de circuitos integrados: en el proceso de fabricación de circuitos integrados, se utilizan finas varillas de tungsteno en la tecnología de litografía láser, donde se utilizan rayos láser para exponer y desarrollar materiales fotosensibles para formar patrones micro-precisos. Además, las finas varillas de tungsteno también se pueden utilizar en la tecnología de reparación de chips, donde se utilizan técnicas de reparación por láser para reparar con precisión pequeños defectos en el chip.
Fabricación de chips semiconductores: en la fabricación de chips semiconductores, se utilizan varillas finas de tungsteno en la tecnología de corte de obleas, especialmente en la tecnología de corte por láser ultravioleta, con una precisión de corte de aproximadamente 2,5 μm. Al mismo tiempo, las varillas finas de tungsteno también se utilizan en la tecnología de decapado de películas para lograr una extracción de película de alta-precisión y sin daños-.
II. Procesos de producción de varillas finas de tungsteno.
Los procesos de producción de varillas finas de tungsteno incluyen principalmente los siguientes pasos clave:
Selección y tratamiento de la materia prima: seleccione polvo de tungsteno de alta-pureza como materia prima y elimine las impurezas mediante un tratamiento químico para garantizar la pureza y la calidad de la materia prima.
Mezclado y prensado: Mezcle el polvo de tungsteno tratado con aglutinante y forme el pellet mediante el proceso de prensado. Durante el proceso de prensado, es necesario controlar la presión y la temperatura para garantizar la densidad y uniformidad del pellet.
Proceso de sinterización: El pellet se sinteriza a alta temperatura para densificarlo. La temperatura de sinterización suele ser superior a 2000 grados y durante el proceso de sinterización, la atmósfera y la temperatura deben controlarse estrictamente para evitar la oxidación.
Procesamiento en frío y en caliente: la varilla de tungsteno sinterizada se somete a procesamiento en frío (como estirado, laminado) y procesamiento en caliente (como forja) para ajustar su tamaño y propiedades mecánicas, y finalmente obtener productos finos de varilla de tungsteno.
Control de calidad: durante el proceso de producción, se requiere una estricta inspección de calidad, que incluye densidad, dureza, precisión del tamaño e indicadores de calidad de la superficie para garantizar que los productos cumplan con los requisitos especiales del micro{0}}nanoprocesamiento.
III. Equipos para varillas finas de tungsteno.
El equipo para varillas finas de tungsteno incluye principalmente los siguientes tipos:
Rectificadora de varillas de tungsteno: Se utiliza para el rectificado preciso de varillas de tungsteno para garantizar la precisión del tamaño y la calidad de la superficie. Las máquinas rectificadoras de varillas de tungsteno comunes incluyen la máquina rectificadora de electrodos de tungsteno de arco de argón de mano pequeña ST-30, la máquina rectificadora de electrodos de tungsteno de banco TM-2, etc.
Rectificadora de electrodos de tungsteno: Se utiliza específicamente para rectificar y recortar electrodos de tungsteno, capaz de rectificar automáticamente los extremos de los electrodos de tungsteno para garantizar su precisión de formación. Dichos equipos suelen estar equipados con un sistema de recolección de polvo para evitar los peligros del polvo de tungsteno para los operadores.
Equipos de sinterización: los hornos de sinterización de alta-temperatura son el equipo clave para la producción de varillas finas de tungsteno, capaces de densificar palanquillas de tungsteno a altas temperaturas para garantizar la densidad y las propiedades mecánicas de los productos.
Equipos de procesamiento en frío y en caliente: incluidas máquinas trefiladoras, laminadoras, máquinas de forja, etc., utilizadas para el procesamiento en frío y en caliente de varillas de tungsteno sinterizadas para ajustar su tamaño y rendimiento.
IV. Requisitos especiales del micro-nanoprocesamiento para varillas finas de tungsteno
Los requisitos especiales del micro-nano procesamiento de varillas finas de tungsteno se manifiestan principalmente en los siguientes aspectos:
Alta pureza: la pureza de las finas varillas de tungsteno afecta directamente su rendimiento en el micro{0}}nanoprocesamiento. Generalmente, la pureza debe superar el 99,95% para reducir el impacto de las impurezas en la calidad del procesamiento.
Alta densidad: la densidad de las finas varillas de tungsteno debe alcanzar el 95% o más de la densidad teórica para garantizar sus propiedades mecánicas y su estabilidad.
Precisión del tamaño: el micro-nanoprocesamiento tiene requisitos extremadamente altos para la precisión del tamaño de las finas varillas de tungsteno. La tolerancia del diámetro se controla dentro de ±0,01 mm y la tolerancia de longitud se controla dentro de ±0,1 mm.
Surface quality: The surface of fine tungsten rods should be smooth without defects, with a roughness typically required to be Ra ≤ 0.2 μm to ensure the stability and accuracy of the processing process. Mechanical properties: The fine tungsten rods must possess excellent mechanical properties, such as high hardness (>50HRC) y resistencia al desgaste, para cumplir con los requisitos de alta-resistencia en el micro-nanoprocesamiento.
V. Resumen
Las finas varillas de tungsteno tienen amplias aplicaciones en el micro{0}}nanoprocesamiento, especialmente como materiales de electrodos en la tecnología de micro-nanoprocesamiento láser. El proceso de producción de varillas finas de tungsteno incluye pasos como la selección de la materia prima, el prensado, la sinterización y el procesamiento en frío y en caliente. El equipo de producción consiste principalmente en máquinas rectificadoras de varillas de tungsteno y máquinas afiladoras de electrodos de tungsteno. Los requisitos especiales para las finas varillas de tungsteno en el micro-nanoprocesamiento incluyen alta pureza, alta densidad, alta precisión dimensional y excelente calidad de superficie. Con el desarrollo continuo de la tecnología de micro-nano procesamiento, el proceso de producción y el equipo de varillas finas de tungsteno también se optimizarán continuamente para cumplir con los requisitos de procesamiento de mayor precisión.
